Litagrafaíocht Ultraivialait Foircní (EUVL)

Baile / blog / Tionscal Gluaisteáin / Litagrafaíocht Ultraivialait Foircní (EUVL)
Réamhrá

Litagrafaíocht Ultraivialait Foircní (EUVL) is ardteicneolaíocht í a úsáideann foinse solais 13.5 nm agus is príomhiarrthóir é ar nód 22 nm liteagrafaíocht agus ina dhiaidh sin. Litagrafaíocht EUV tá sé sa chéim phíolótach anois le huirlisí 0.33-NA ag láithreáin déantúsaíochta sliseanna. Táthar ag súil le táirgeadh mais-scála go luath amach anseo.

Litagrafaíocht EUV úsáideann uirlisí foinse plasma chun na fótóin 13.5 nm a ghiniúint.​
Aistrítear patrúin ó masc frithchaiteach chuig foshraith atá brataithe le hábhar solas-íogair ar a dtugtar photoresist. Tarlaíonn teicníocht patrúnúcháin i bhfolús i gcumraíocht optaic uile-fhrithchaiteach. Déan ciorcaid iomlánaithe a bhfuil gnéithe clóite acu ar lú iad ná mar a bhíonn siad. 32 nm.

Prionsabal Oibre EUV

Solas EUV Bailítear ó phlasma isteach i mbailitheoir a stiúrann solas isteach i múnlú optaic ar a dtugtar 'optaice soilsithe.' Soilsíonn an solas masc grianghraf. Cuimsíonn an optaic soilsithe scátháin ghnáthmhinicíochta atá brataithe ilchiseal agus scátháin um mhinicíocht innilte.

I V masks Tá 6-orlach cearnach, 1/4-orlach-tiubh ábhair leathnú teirmeach íseal a bhfuil sciath frithchaiteach ilchiseal agus ciseal ionsúire eitseáilte isteach sa chiseal ciorcad. Téann íomhá frithchaite an mhaisc EUV isteach sa snáthoptaice teilgean a chuimsíonn sé scáthán ilchiseal nó níos mó agus a bhfuil NA > 0.25 aige.

Tá an íomhá deiridh dírithe ar sliseog sileacain atá brataithe le friotóir eitse atá íogair ó thaobh grianghraf nó grianghrafadóir. Feidhmíonn an córas i dtimpeallacht íseal hidreacarbóin, ardfholús

I measc go leor dúshlán atá le sárú tá bonneagar foinse solais, friotáin agus maisc agus uirlisí liteagrafaíochta a fhorbairt atá eacnamaíoch

Ní mór ard-réiteach, íogaireacht ard, roughness imeall líne íseal (LER) agus outgassing íseal ag an am céanna a bheith ag ábhar friotóirí.​

EUV – Nuashonruithe Teicneolaíochta
  • Patrúnadh iolrach 
  • Taiscí Ciseal Adamhach (ALD) 
  • Peilicle 
  • Tugadh Ard NA 
  • Ardán ard-NA, ar a dtugtar 'EXE 
Litagrafaíocht EUV: Cad é an chéad cheann eile?
  • Táthar ag súil go bhfásfaidh margadh litagrafaíocht EUV ó USD 2.98 billiún in 2018 go USD 10.31 billiún faoi 2023, ag CAGR de 28.16%. 
  • Bloc mór bóthair in EUVL – ceanglas é ar fhoinse solais ardchumhachta chun an fótairéitheoir a shoilsiú. Trealamh loingseoireachta ASML le radaíocht 250W cumhacht agus an cumas radaíocht 450W a ghiniúint.
  • Dúshlán eile in EUVL – is é an ionsú láidir ar radaíocht EUV ag gach ábhar. Tá friotáin EUV struchtúrtha sa chaoi is go dtarlaíonn priontáil an-tanaí ciseal íomháithe ag dromchla an fhriotóra. Ina theannta sin, beidh ar ábhair fhrithsheasmhachta EUV teacht chun cinn leis an éabhlóid atá le teacht i dteicneolaíocht foinse solais. 
  • Áirítear le liteagrafaíocht na chéad ghlúine eile lasmuigh den EUV liteagrafaíocht X-gha, liteagrafaíocht léasa leictreon, liteagrafaíocht léas ian fócasaithe, agus nana-léarscáil liteagrafaíocht. Tá nanaimprint in ann rath a chur ar EUV mar gheall ar a simplíocht dhúchasach agus a chostas íseal oibríochta chomh maith lena rathúlacht sa LED, crua tiomántán diosca, agus earnálacha micrea-shreabhach.
údar
Chandandeep Kaur agus Harvinder Singh
 
Maidir le TTC
D’aithníomar i gcónaí luach na teicneolaíochta nua a chuireann ár gcriú feidhmiúcháin sároilte le cúlraí mar ghairmithe againn. Cosúil leis na gairmithe maoine intleachtúla a gcumhachtaimid, níl deireadh gan deireadh lenár n-ocras forbartha. FEABHSHAimid, OIRIÚNAímid, agus cuirimid i bhFeidhm ar bhealach straitéiseach.
 
Is féidir leat freisin Teagmháil comhairliúchán a chur ar bun.
 
Comhairleoirí TT cuireann sé raon réitigh éifeachtacha ardchaighdeáin ar fáil do do bhainistiú maoine intleachtúla ó Cuardach PatentabilityCuardach NeamhbhailíochtaFTO (Saoirse Oibriúcháin)Optamú Punainne PaitinneMonatóireacht Paitinne, Paitinne Cuardach SárúDréachtú Paitinne & Léaráidí, agus i bhfad níos mó. Cuirimid réitigh turnkey ar fáil do ghnólachtaí dlí agus do chorparáidí i go leor tionscail.
réitigh.
Roinn Airteagal

Catagóirí

BARR

Iarr Glao Ar Ais!

Go raibh maith agat as do spéis i TT Consultants. Comhlánaigh an fhoirm le do thoil agus rachaimid i dteagmháil leat go luath

    Popup

    Díghlasáil AN CUMHACHT

    As Do Smaointe

    Ardaigh Do Eolas Paitinne
    Tá Léargais Eisiata ar Fáil inár Nuachtlitir

      Iarr Glao Ar Ais!

      Go raibh maith agat as do spéis i TT Consultants. Comhlánaigh an fhoirm le do thoil agus rachaimid i dteagmháil leat go luath