I réimse na nuálaíochta agus a léargas pribhléideach, úsáidtear innealtóireacht droim ar ais mar nós imeachta riachtanach agus úsáidtear í de ghnáth chun míreanna a chaighdeánú agus chun cabhrú le próisis cheadúnaithe.
Gné shuntasach de bhunspéis an ghnó reatha is ea eolas a bheith agat ar obair do chomhraic. Sa chás go gcaithfidh comhlachas dul thar ionchais maidir le forghníomhú a n-ítim, ag an bpointe sin ba cheart go mbeadh a fhios acu faoi na míreanna reatha, a n-úsáidí. Chun dul i ngleic leis an gcúis seo, ba cheart dóibh a nuálaíocht laistigh a bhaint amach trí dhíchóimeáil agus scrúdú a dhéanamh. Nuair a dhéantar an t-imscrúdú ar mhír dhíchóimeála, is féidir a insint faoin ábhar a úsáideadh, na modúil atá i láthair, a n-úsáidí agus na huasghráduithe is gá maidir le nuálaíocht a bheidh le déanamh chun an chéad fhoirm eile agus níos fearr a fhorbairt.
Is é an chéad rud iomlán a chluinfidh clog faoi figuring amach “an bhfuil sé dleathach?”. Nuair a dhéanann tú iarracht a fhreagra a fháil amach, gheobhaidh tú é. Tá an tAcht um Chosaint Sliseanna Leathsheoltóra ag na Stáit Aontaithe, a chuidíonn le hInnealtóireacht Droim ar ais i gcóimeáil IC agus leathsheoltóirí. Tá gníomhartha comparáideacha ann freisin i bpíosaí éagsúla de náisiúin an domhain amhail an tAontas Eorpach, an tSín agus tíortha eile. Coinníonn na taispeántais seo úsáid na hInnealtóireachta Cúltaca le hiniúchadh a dhéanamh ar an nuálaíocht agus ar na teicníochtaí a úsáidtear i struchtúrú agus i gcóimeáil.
Cineálacha Innealtóireacht Chúil
Is féidir le hinnealtóireacht droim ar ais táirgí leathsheoltóra-bhunaithe a bheith i bhfoirmeacha éagsúla:
- Teorainneacha táirge – An táirge, an pacáiste, na cláir inmheánacha agus na comhpháirteanna a shainaithint
- Anailís ar leibhéal an chórais – Anailís a dhéanamh ar oibríochtaí, feidhmeanna, uainiú, conairí comharthaí agus idirnaisc
- Anailís ar phróisis – Scrúdaigh an struchtúr agus na hábhair lena fheiceáil conas a dhéantar é, agus cad as a bhfuil sé déanta
- Eastóscadh ciorcaid – Moill ar leibhéal an trasraitheora, ansin bain idirnaisc agus comhpháirteanna chun schematics agus netlists a chruthú.
- Tá baint ag baint le Ciorcaid Chomhtháite (ICanna) le ciorcaid ag éirí níos trioblóidí le gach aois nua. Le grianghraif ghlana laistigh agus lasmuigh de gach ciseal sliseanna, is féidir úsáid a bhaint as uirlisí ceannródaíocha chun líonliosta leibhéal geata den Chiorcad Comhtháite (IC) a bhaint amach. Tugann sé cúpla seans (measúnú slándála, cruthúnais sárú IP) agus fós, is riosca suntasach é mar is féidir le hiomaitheoir eile foghlaim ar an nglanliosta féachaint conas a fheidhmíonn an IC agus ansin d’fhéadfaí é a úsáid chun míreanna falsaithe a chumrú.
Leanann an sruth eastósctha ciorcad mar seo a leanas:
Díbirt pacáiste (dá dtagraítear sa ghnó mar “iosta giuirléidí”)
- Moilleadóireacht
- Íomháú
- Anótáil
- Anailís Scéimreach agus comhlachas
Iosta Gléas
Is é an iosta príomh-dul chun cinn an nós imeachta a leanann na gnáth-theicnící fós. De ghnáth, eitseáltar pacáistí trí leas a bhaint as socrú millteach creimneach. Úsáidtear cineálacha éagsúla aigéid ag teochtaí éagsúla ag brath ar struchtúr agus ar mhéid na bpacáistí ar leith. Díscaoileann na socruithe seo ábhar an phacáiste, ach ná scriostar an dísle.
Moilleadóireacht
Síneann gadgets leathsheoltóra an lae inniu ó 1.0 μm sliseanna dépholach miotail aonair, trí sceallóga MOS idirleata BiCMOS (BCDMOS) 0.35 μm, go 45 nm 12 micrishlis miotail, agus gach rud sa lár. Is féidir alúmanam agus copar araon a úsáid le haghaidh miotail ar shlis dá samhail. Ag brath ar aois an nós imeachta, is féidir leis na geataí polaisileacain, agus na foinse/cainéil úsáid a bhaint as silicídí éagsúla.
Ní mór do shaotharlann moillithe sampla solitary a dhéanamh den ghiuirléid ag gach ciseal miotail, agus ag leibhéal geata an trasraitheora polysilicon. Sa cháil sin, ní mór dó gach ciseal a bhaint go beacht, gach ceann ar a seal, agus an dromchla plánach a choinneáil. Éilíonn sé seo foirmlí pointe ar phointe chun gach ciseal a dhíbirt. Ionchorpraíonn na foirmlí seo meascán de straitéisí, mar shampla, scríobadh plasma (tirim), eitseáil fliuch, agus glanadh.
Íomháú
Úsáideann saotharlanna RE faoi láthair dhá chineál íomháithe, micreascóp optúla agus scanadh leictreon (SEM). Suas le 0.25 µm de sceallóga leathsheoltóra, bhí an íomháú optúil leordhóthanach. Bíodh sin mar atá, ní mór úsáid a bhaint as SEM le haghaidh 0.18 µm chun na buaicphointí is lú a chinneadh. Baintear úsáid as bogearraí ríomhchlárúcháin a cruthaíodh go speisialta chun an líon mór pictiúr a líneáil le chéile.
Anótáil
Nuair a bhíonn na pictiúir go léir fuaite agus coigeartaithe, is é an fíor-obair a thosaíonn an ciorcad a bhualadh siar. Éilíonn eastóscadh ciorcaid iomlán breathnú ar gach trasraitheoir, dé-óid, toilleoirí, agus deighleoga éagsúla, gach sraith idirnasc, agus gach teagmháil agus vias. Is féidir é seo a dhéanamh go fisiciúil nó trí úsáid a bhaint as uathoibriú.
Seiceáil agus Cruthú Scéimreach
Seans go dtabharfaidh an nós imeachta anótála earráid isteach. Ina dhiaidh sin, ba cheart seiceáil a dhéanamh ag an gcéim seo. Is iomaí ceist a aimsíonn seiceálacha rialacha dearaidh, mar shampla, faoi na buaicphointí nó na spásanna is lú tomhaiste, sreanga crochta, vias gan sreanga, agus mar sin de.
Scrúdú scéimreach agus eagrú
Féadfaidh an stáitse a bheith fíor-athtriallach, agus úsáid a bhaint as go leor foinsí sonraí oscailte atá inrochtana le haghaidh giuirléidí cosúil le sonraí a thaispeáint, bileoga sonraí, sainpháipéir, nó ceadúnais. Is féidir leo seo cabhrú leis an gcomhcheangal scéimreach, mar shampla, má tá teacht ar bhlocléaráid. Féadfaidh siad cabhrú le tuiscint a fháil ar shamhlacha agus ar struchtúir chiorcaid. Ba cheart go bhféadfaí an scrúdú a dhéanamh freisin agus úsáid á baint as teicnící deartha sliseanna. Is féidir ciorcad a imscrúdú de láimh ag úsáid leibhéal an trasraitheora agus an chláir. Is minic a bhíonn struchtúir dearaidh feiceálach, mar shampla, tacair dhifreálach, giuirléidí dépholacha le haghaidh tagairtí bandgap, agus mar sin de.
Bíodh sin mar atá, beidh úsáideacht nós imeachta eastósctha pointe ar phointe ag brath ar a choinníoll creata. Agus iad á n-úsáid le chéile, féadann na modhanna thuasluaite a bheith thar a bheith dochreidte. Mar gheall ar dhul chun cinn leanúnach sa nuálaíocht is féidir na modhanna seo a úsáid trí úsáid a bhaint as nósanna imeachta íomháithe tiomáinte chun comharthaí feabhais a léiriú.
Go déanach, d'úsáid grúpa speisialtóirí atá lonnaithe san Eilvéis 3D X-beam Tech for Easy Reverse Engineering de chuid ICanna chun eastóscadh leibhéal ciorcaid na nuálaíochta rúndiamhra laistigh de phróiseálaithe a fháil amach. Bhain siad úsáid as léasacha astaithe solais ag achar de phróiseálaí Intel agus bhí an cumas acu feannadh trasraitheoirí agus sreangú an tslis a athdhéanamh i dtrí thomhas. Sa todhchaí, is féidir an córas íomháithe seo a shíneadh amach chun pictiúir mhórscála a dhéanamh ar spriocanna ard-spriocanna den taobh istigh de sceallóga.
Sa lá atá inniu ann, déanann culaithe innealtóireachta droim ar ais sraitheanna de phróiseálaí a dhíbirt go loighciúil agus tógann siad pictiúir micreascóp leictreon de chuid bheag amháin den tslis ag an am céanna. Bíodh sin mar atá, is nós eile é an nós imeachta seo le sní isteach laistigh de sceallóga chun iad a dhéanamh amach nó féachaint nár baineadh mí-úsáid as nuálaíocht cheadúnaithe.
Is cuma cé acu nach nglactar go ginearálta leis an modheolaíocht seo chun sceallóga na n-iomaitheoirí a dhíbirt, d'fhéadfadh sé úsáid a bhaint as i bhfeidhmchláir éagsúla.
Bhí an obair i gceannas ag Foinse Solais na hEilvéise de chuid Institiúid Paul Scherrer. Is Synchrotron an oifig; tapaíonn sé leictreoin chun luas an tsolais a dhúnadh ionas go gcruthófar léasacha astaithe solais.
Splancann grúpa na hEilvéise colún X-bhíoma trí phróiseálaí Intel 22-nanaiméadar-ghlúin, déanann na codanna ciorcaid éagsúla - a sreanga copair agus trasraitheoirí sileacain, agus buaicphointí éagsúla - an solas a scaipeadh ar bhealaí éagsúla agus is cúis le bac úsáideach agus díobhálach. Léirigh na heolaithe an colún ar a shampla ó imill éagsúla éagsúla, agus ag baint úsáide as córas ar a dtugtar X-gha ptychography, d'fhéadfadh siad a athchruthú struchtúr isteach sliseanna ó na dearaí díraonta ina dhiaidh sin.
Is é an sprioc don nós imeachta seo ar aon bhealach amháin ná 14.6 nm, rud a thug fíor-phictiúr soineanta de na codanna trasraitheora aonair. Is féidir na spriocanna a fheabhsú tuilleadh. Mar thoradh ar na srianta sin, d’fhéadfaí an cur i bhfeidhm is fearr don nós imeachta íomháithe seo a chur i bhfeidhm ar sceallóga a dhéantar ag baint úsáide as nósanna imeachta le chéile níos seanbhunaithe agus a bhfuil buaicphointí níos mó acu dá bharr. Is é seo an cás maidir le sliseanna éagsúla a úsáidtear in feidhmeanna míleata agus spáis.